蘇州大學物理能源學院導師：葉超 正文

　　姓名：葉超
　　職稱：研究員
　　部門：大學物理部
　　聯(lián)系方式：
　　0512-69157032 電子郵箱：

　　個人簡歷：
　　1986年畢業(yè)于蘇州大學物理系，2001年獲理學碩士學位，2006年獲理學博士學位?，F(xiàn)為蘇州大學 基礎物理國家實驗教學中心副主任、蘇州大學低溫等離子體創(chuàng)新研究團隊核心成員。從事過《固體物理實驗》、《近代物理實驗》、《低溫等離子體診斷技術》、 《大學物理實驗》課程教學，主編《低氣壓低溫等離子體診斷原理與技術》。主持、參加國家級科研項目6項，在《Appl. Phys. Lett.》等國內(nèi)外學術期刊發(fā)表研究論文100多篇，獲得過江蘇省、蘇州市、蘇州大學科技進步獎，江蘇省、蘇州大學教學成果獎，江蘇省優(yōu)秀碩士論文獎等。

　　獲獎、榮譽和學術兼職：
　　1、“基礎物理（實驗）教學團隊”2010年國家級教學團隊。
　　2、2009年、2011年江蘇省高等教育教學成果二等獎。
　　3、多頻等離子體和離子束沉積多種微納電子薄膜材料，2008年江蘇省科技進步三等獎。
　　任教課程：
　　1、《大學物理實驗》（本科生）
　　2、《等離子體物理與技術》（碩士生）
　　3、《等離子體應用前沿》（博士生）

　　研究領域：
　　主要從事低溫等離子體物理、技術和凝聚態(tài)物理（薄膜物理）的研究。

　　基金項目：
　　1、國家自然科學基金：納電子器件中的SiCOH超低k材料及相關復雜性研究/主持人 2006-2008
　　2、國家自然科學基金：多頻等離子體與硅基軟物質(zhì)的作用研究/主持人 2010-2012
　　3、國家自然科學基金：多頻等離子體濺射沉積Ag摻雜a-SiCxOy發(fā)光材料的研究/主持人 2013-2016
　　4、國家自然科學基金：ECR等離子體中多碳氟基團的研究/參加 2001-2004
　　5、國家自然科學基金重點項目：低氣壓多頻等離子體與材料表面相互作用/參加 2007-2010
　　6、科技部ITER計劃國內(nèi)研究項目：強磁場螺旋波等離子體物理及超導托卡馬克壁清洗新技術/參加 2010-2013

　　代表性論著、研究成果：
　　1、 C. Ye, etal., Dielectric properties of silicon nitride films deposited by microwave electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition at low temperature, Appl.Phys.Lett. 71, 336 (1997)
　　2、 C. Ye, etal., Microstructure and dielectric properties of silicon nitride films deposited by electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition, J.Appl.Phys. 83, 5978 (1998)
　　3、C. Ye, etal., Effect of doping on structure and dielectric property of SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane, J. Electrchem. Soc. 154, G63 (2007)
　　4、C. Ye, etal, Effect of decamethylcyclopentasiloxane and trifluromethane electron cyclotron resonance plasmas on F-SiCOH low dielectric constant film deposition, J.Appl.Phys. 106, 013302 (2009)
　　5、《低氣壓低溫等離子體診斷原理與技術》，主編，北京：科學出版社（2010）

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